超臨界流體在微電子器件清洗中的應(yīng)用
作者：李志義; 劉學(xué)武; 張曉冬; 夏遠(yuǎn)景; 胡大鵬 大連理工大學(xué)流體與粉體工程研究設(shè)計(jì)所; 遼寧; 116012
摘要：本文介紹了超臨界流體及其特性、超臨界流體清洗工藝及特點(diǎn).結(jié)合現(xiàn)有的研究結(jié)果,論述了在微電子加工中應(yīng)用超臨界流體的可行性和有效性.并以硅片的清洗和干燥為例,說明了超臨界CO2的應(yīng)用優(yōu)勢,指出了超臨界流體在微電子技術(shù)中尚需要解決的技術(shù)問題及其廣闊的應(yīng)用前景.
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洗凈技術(shù)雜志
洗凈技術(shù)雜志， 月刊，本刊重視學(xué)術(shù)導(dǎo)向，堅(jiān)持科學(xué)性、學(xué)術(shù)性、先進(jìn)性、創(chuàng)新性，刊載內(nèi)容涉及的欄目：行業(yè)、專家論壇、技術(shù)交流、知識講座、市場、案例、人物、國際等。于2003年經(jīng)新聞總署批準(zhǔn)的正規(guī)刊物。
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