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離子注入機大行程垂直掃描系統(tǒng)的研制

作者：肖仁耀許波濤中國電子科技集團公司第四十八研究所中國電子科技集團公司第四十八研究所長沙

摘要：采用垂直掃描系統(tǒng)是離子注入機最常用的掃描方式之一,著重闡述了一種大行程垂直掃描系統(tǒng)的系統(tǒng)構成、設計思路和實現(xiàn)方法。經(jīng)過實際使用證明,該系統(tǒng)提高了離子注入機機械掃描的可靠性和穩(wěn)定性。

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