摘要：二氧化碳(CO2)不僅是一種重要的溫室氣體,也是具有危害性的窒息性氣體,因此發(fā)展小型化、高靈敏度的CO2濃度傳感器對(duì)無(wú)人機(jī)載、探空球等探測(cè)大氣CO2以及在空間封閉環(huán)境的CO2濃度監(jiān)測(cè)等領(lǐng)域具有較大的應(yīng)用需求。開展了基于2.0μm可調(diào)諧半導(dǎo)體激光器的CO2傳感研究,搭建了CO2探測(cè)實(shí)驗(yàn)系統(tǒng)。系統(tǒng)以4989.97 cm^-1處的CO2吸收譜線為研究對(duì)象,采用微小型離軸石英音叉增強(qiáng)型光聲光譜新技術(shù)對(duì)CO2氣體傳感進(jìn)行研究。通過(guò)優(yōu)化調(diào)制頻率和調(diào)制振幅等參數(shù),確定了CO2傳感系統(tǒng)的最佳參數(shù)。在最優(yōu)實(shí)驗(yàn)參數(shù)條件下對(duì)CO2氣體進(jìn)行探測(cè),獲得系統(tǒng)的最小探測(cè)靈敏度為142μL/L,最小歸一化等效噪聲吸收系數(shù)為3.37×10^-8cm^-1W/Hz^1/2。