基于ANSYS Workbench的銅質(zhì)研磨盤熱結(jié)構(gòu)耦合分析
作者：宋放; 周海; 韋嘉輝; 吳宇航; 孫亮 安徽理工大學機械工程學院; 安徽淮南232000; 鹽城工學院機械優(yōu)集學院; 江蘇鹽城224000
摘要：在研磨氧化鎵晶片時,由于銅質(zhì)研磨盤的導熱系數(shù)和熱膨脹率較大,因此研磨盤各個部位的熱變形量也會因為溫度的不同而不同。通常在加工前需要對研磨盤加工時的變形量進行預測,并對研磨盤表面進行平面補償。選取了3組不同補償角的研磨盤,基于ANSYS Workbench對它們分別進行瞬態(tài)熱結(jié)構(gòu)耦合分析。結(jié)果表明:當補償角為0.003°時銅盤補償效果最好。該方法為不同研磨工況下研磨盤補償角的選定提供了參考。
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機械工程與自動化雜志
機械工程與自動化雜志， 雙月刊，本刊重視學術導向，堅持科學性、學術性、先進性、創(chuàng)新性，刊載內(nèi)容涉及的欄目：試驗研究、計算機技術應用、機械設計、材料研究、工藝研究、質(zhì)量監(jiān)測與故障診斷、自動化技術、實用技術、專題綜述等。于1972年經(jīng)新聞總署批準的正規(guī)刊物。
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