誤差對非球面計(jì)算全息的影響分析
作者：汪艷; 張蓉竹 四川大學(xué)電子信息學(xué)院; 成都610064
摘要：非球面的精密檢測中,需要使用到高質(zhì)量的相位補(bǔ)償器件,補(bǔ)償元件的質(zhì)量對檢測結(jié)果的精度有直接影響。本文針對一拋物面透鏡,設(shè)計(jì)了一個(gè)計(jì)算全息板。重點(diǎn)分析了計(jì)算全息板在制造過程中存在的各種誤差的影響,分別從整體條紋移動、單個(gè)條紋定位偏差、占空比改變?nèi)齻€(gè)方面分析了在誤差影響下,對誤差引起的光場畸變進(jìn)行了計(jì)算。結(jié)果表明,計(jì)算全息板的邊緣處的加工誤差帶來的影響大于中心部分,要讓通過計(jì)算全息板后光場分布的誤差均方根值控制在10^-4這個(gè)量級,條紋加工誤差不超過1 μm。
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