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  • 首頁 > 期刊 > 集成電路應用 > 基于BL0939的天線效應分析 【正文】

    基于BL0939的天線效應分析

    作者:王鎖成 上海貝嶺股份有限公司; 上海200233

    摘要:隨著半導體工藝技術的發(fā)展,柵的特征尺寸越來越小,然而金屬走線卻越來越長,這就造成了與之相關的天線效應(PAE)越來越顯著。分析在芯片制造過程中產生天線效應的原因,并在此基礎上提出了四種消除天線效應的方法。其方法應用于BL0939的后端設計,證明了它的切實可行性。

    注:因版權方要求,不能公開全文,如需全文,請咨詢雜志社。

    集成電路應用雜志

    集成電路應用雜志, 月刊,本刊重視學術導向,堅持科學性、學術性、先進性、創(chuàng)新性,刊載內容涉及的欄目:產業(yè)評論、市場分析、設計與研究、工藝與制造、創(chuàng)新應用、新產品、區(qū)域動態(tài)、讀者信箱等。于1984年經新聞總署批準的正規(guī)刊物。

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