馬赫曾德雙成像的鏡面材料內(nèi)部缺陷檢測系統(tǒng)
作者：鐘詩民; 孫方圓; 陳維杰; 吳雙樂; 王永紅 合肥工業(yè)大學儀器科學與光電工程學院; 合肥230009
摘要：針對傳統(tǒng)剪切散斑干涉技術(shù)只能測量粗糙表面,無法直接測量鏡面物體的缺陷,提出了一種改進的剪切成像裝置,利用被測物表面反射由激光經(jīng)毛玻璃組擴束后產(chǎn)生的散斑來實現(xiàn)鏡面物體缺陷檢測;同時采用雙成像的馬赫曾德干涉系統(tǒng),實現(xiàn)剪切量與載波頻率的獨立調(diào)整,擴大有效測量區(qū)域.對8k鏡面板采用頂針加載的方式,對預置缺陷的鏡面表面材料采用熱加載的方式,進行缺陷檢測.實驗結(jié)果表明:該方法檢測出的缺陷分布與加載方式、預置缺陷的分布基本保持一致,可實現(xiàn)對鏡面材料內(nèi)部缺陷的快速動態(tài)檢測.
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