摘要：基于SOI的光學(xué)微環(huán)諧振腔具備低功耗、高集成、高靈敏等特點(diǎn)而被廣泛應(yīng)用于光互連、光通信和光信息傳輸?shù)群芏喾矫?本文利用耦合模理論,微環(huán)諧振理論和熱光調(diào)制理論,提出了一種可以同時(shí)達(dá)到反射率可調(diào)、帶寬可調(diào)和波長(zhǎng)可調(diào)的微環(huán)反射腔鏡,波長(zhǎng)選擇在1 550 nm附近,微環(huán)半徑設(shè)置為10μm,硅波導(dǎo)尺寸選擇220 nm的條波導(dǎo),波導(dǎo)寬度為450 nm。利用轉(zhuǎn)移矩陣方法和matlab仿真軟件計(jì)算并仿真討論了輸出光譜與耦合系數(shù)k等參數(shù)的變化關(guān)系。仿真結(jié)果證明,該器件反射率變化為15%到100%(在無損耗的情況下),帶寬調(diào)諧范圍為0.25 nm~0.95 nm,通過在微環(huán)上加熱電極可以實(shí)現(xiàn)一個(gè)FSR(自由光譜范圍)范圍波長(zhǎng)的調(diào)諧。該器件在高速光網(wǎng)絡(luò)傳輸、光增益譜均衡和信道選擇方面有著重要應(yīng)用。