摘要：隨著電子工業(yè)的迅速發(fā)展,八氟環(huán)丁烷作為常用的半導(dǎo)體工藝蝕刻或清洗氣體,其需求量日益增加,對(duì)其純度要求也越來(lái)越苛刻。總結(jié)了現(xiàn)有應(yīng)用最為廣泛的四種八氟環(huán)丁烷純化技術(shù):精餾技術(shù)、吸附技術(shù)、化學(xué)轉(zhuǎn)化法、膜分離技術(shù),分析四種純化技術(shù)各自優(yōu)缺點(diǎn)。在實(shí)際生產(chǎn)中,根據(jù)八氟環(huán)丁烷中所含雜質(zhì)的種類,選擇合適純化技術(shù)聯(lián)用來(lái)獲得高純八氟環(huán)丁烷。此外,應(yīng)不斷開(kāi)發(fā)新型、高效電子氣體純化技術(shù),促進(jìn)我國(guó)電子氣體行業(yè)的發(fā)展。